De veelgebruikte halfgeleiderdruksensor gebruikt siliciumwafel van het N-type als substraat.Eerst wordt de siliciumwafel gemaakt tot een elastisch spanningsdragend deel met een bepaalde geometrie.Op het spanningsdragende deel van de siliciumwafel worden vier diffusieweerstanden van het P-type gemaakt langs verschillende kristalrichtingen, en vervolgens wordt met deze vier weerstanden een vierarmige Wheatstone-brug gevormd.Onder invloed van externe kracht worden de veranderingen in weerstandswaarden elektrische signalen.Deze brug van tarwesteen met drukeffect is het hart van de druksensor, die gewoonlijk piëzoresistieve brug wordt genoemd (zoals weergegeven in figuur 1).De kenmerken van een piëzoresistieve brug zijn als volgt: ① de weerstandswaarden van de vier armen van de brug zijn gelijk (allemaal r0);② Het piëzoresistieve effect van aangrenzende armen van de brug is gelijk in waarde en tegengesteld van teken;③ De weerstandstemperatuurcoëfficiënt van de vier armen van de brug is hetzelfde en ze hebben altijd dezelfde temperatuur.In afb.1, R0 is de weerstandswaarde zonder spanning bij kamertemperatuur;RT is de verandering die wordt veroorzaakt door de temperatuurweerstandscoëfficiënt (α) wanneer de temperatuur verandert;Υ Rδ is de verandering in weerstand veroorzaakt door spanning (ε);De uitgangsspanning van de brug is u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (brug met constante stroombron).

Waarbij I0 een constante stroombronstroom is en e een constante spanningsbronspanning is.De uitgangsspanning van de piëzoresistieve brug is direct evenredig met de spanning (ε) en heeft niets te maken met RT, veroorzaakt door de temperatuurcoëfficiënt van de weerstand, waardoor de temperatuurdrift van de sensor aanzienlijk wordt verminderd.De meest gebruikte halfgeleiderdruksensor is een sensor voor het detecteren van vloeistofdruk.De hoofdstructuur is een capsule gemaakt van monokristallijn silicium (zoals weergegeven in figuur 2).Van het diafragma is een beker gemaakt, en de onderkant van de beker is het deel dat de externe kracht draagt, en de drukbrug is op de bodem van de beker gemaakt.Het ringvoetstuk is gemaakt van hetzelfde silicium-monokristalmateriaal en vervolgens wordt het diafragma aan het voetstuk gehecht.Dit soort druksensor heeft de voordelen van hoge gevoeligheid, klein volume en stevigheid, en wordt veel gebruikt in de luchtvaart, ruimtenavigatie, automatiseringsinstrumenten en medische instrumenten.