Van toepassing op Passat common rail-brandstofdruksensor 06E906051K

1. Een werkwijze voor het vormen van een druksensor, omvattende:

Het verschaffen van een halfgeleidersubstraat, waarbij een eerste diëlektrische tussenlaag, een eerste diëlektrische tussenlaag en een tweede diëlektrische tussenlaag op het halfgeleidersubstraat zijn gevormd.

Een onderste elektrodeplaat in de eerste diëlektrische tussenlaag, een eerste gemeenschappelijke elektrode die zich op dezelfde laag bevindt als de onderste elektrodeplaat en op afstand van elkaar ligt.

Verbindende lagen;

Het vormen van een opofferingslaag boven de onderste polaire plaat;

Het vormen van een bovenste elektrodeplaat op de eerste diëlektrische tussenlaag, de eerste verbindingslaag en de opofferingslaag;

Na het vormen van de opofferingslaag en vóór het vormen van de bovenste plaat, in de eerste verbindingslaag

Het vormen van een verbindingsgroef, en het vullen van de verbindingsgroef met de bovenste plaat om elektrisch te verbinden met de eerste verbindingslaag; Of,

Na het vormen van de bovenste elektrodeplaat worden verbindingsgroeven gevormd in de bovenste elektrodeplaat en de eerste verbindingslaag

Het vormen van een geleidende laag die de bovenste elektrodeplaat en de eerste verbindingslaag in de verbindingsgroef verbindt;

Na het elektrisch verbinden van de bovenste plaat en de eerste verbindingslaag, wordt de opofferingslaag verwijderd om een ​​holte te vormen.

2. Werkwijze voor het vormen van een druksensor volgens conclusie 1, waarbij in de eerste laag

De werkwijze voor het vormen van de opofferingslaag op de diëlektrische tussenlaag omvat de volgende stappen:

Het afzetten van een laag opofferingsmateriaal op de eerste diëlektrische tussenlaag;

Het van een patroon voorzien van de laag van opofferingsmateriaal om een ​​opofferingslaag te vormen.

3. Werkwijze voor het vormen van de druksensor volgens conclusie 2, waarbij gebruik wordt gemaakt van fotolithografie en graveren.

De laag van opofferingsmateriaal wordt door middel van een etsproces van een patroon voorzien.

4. Werkwijze voor het vormen van een druksensor volgens conclusie 3, waarbij de opofferingslaag

Het materiaal is amorfe koolstof of germanium.

5. Werkwijze voor het vormen van een druksensor volgens conclusie 4, waarbij de opofferingslaag

Het materiaal is amorfe koolstof;

Etsgassen die worden gebruikt bij het etsen van de laag van opofferingsmateriaal omvatten O2, CO, N2 en Ar;

De parameters tijdens het etsen van de laag opofferingsmateriaal zijn: het stroombereik van O2 is 18 SCCM ~ 22 SCCM, en de stroomsnelheid van CO is 10%.

Het debiet varieert van 90 SCCM tot 110 SCCM, het debiet van N2 varieert van 90 SCCM tot 110 SCCM, en het debiet van Ar.

Het bereik is 90 SCCM ~ 110 SCCM, het drukbereik is 90 mtor ~ 110 mtor en het biasvermogen is

540w~660w.