De graafmachinedruksensor is de meest gebruikte sensor, het is een algemene term voor het detecteren van gas, vloeistof, vaste stof en andere stoffen tussen de inductieve krachtenergie, omvat ook
Manometers die de luchtdruk boven en vacuümmeters meten die de luchtdruk hieronder meten. Er zijn veel soorten krachtsensor, de traditionele meetmethode is om de vervorming en verplaatsing van elastische elementen toe te passen om het onderhoud van de elektrische injectiemotor uit te drukken, maar het volume is groot, onhandig en de output is niet-lineair. Met de groei van de vaardigheden van micro -elektronica, de toepassing van halfgeleidermaterialen piëzoresistisch effect en superieure elasticiteit, de ontwikkeling van halfgeleiderkrachtsensoren, belangrijke silicium piëzoresistive en capacitieve twee, ze hebben kleine grootte, lichtgewicht, lichte gevoeligheid, voordelen van hoge gevoeligheid, wordt op grote schaal gebruikt in semiconductor -krachtgevallen. Wanneer een halfgeleider op een kristal omhoog wordt benadrukt, zal de weerstand veranderen. De relatie tussen de veranderingsverandering van de geleider en stress wordt het halfgeleider piëzoresistisch effect genoemd, en de mechanische hoeveelheidsensor gemaakt van dit effect wordt de piëzoresistieve krachtsensor genoemd, die twee soorten heeft, één is de sensor gemaakt van de halfgeleiderstammeter die op het elastische element wordt genoemd, dat de paste piëzoresistische sensor wordt genoemd. De andere is de diffusieresistentie gemaakt van geïntegreerde circuittechnologie op het substraat van halfgeleidermateriaal, zodat de stammeter en het siliciumsubstraat dezelfde hele sensor vormen, de diffusie piëzoresistieve sensor genoemd. Het heeft de kenmerken van hoge gevoeligheid, hoge precisie, klein formaat, lichtgewicht, hoge werkfrequentie, eenvoudige structuur, betrouwbaar werk en een lange levensduur.